マルチイオンゲージ ST200-E

特長

• ULVAC独自のコンセプト:用途に応じ、異なる測定範囲の測定子が接続可能
• 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許):真空計にとって厳しい環境下でも長期間の安定した計測が可能
• ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続により状態確認やデータロギングが可能
• コンパクト:前モデルから大幅な小型化を実現(コントローラー体積56%削減)、世界最小クラス
• 広範囲測定:大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R併用時)
• 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU併用時)

用途

• 有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス制御用に
• 真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
• ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に
• 真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に