マルチイオンゲージ SH200-E

特長

• ULVAC独自のコンセプト:用途に応じ、異なる測定範囲の測定子が接続可能
• コンパクト:前モデルから大幅な小型化を実現(コントローラー体積56%削減)、世界最小クラス
• ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続により状態確認やデータロギングが可能
• 広範囲測定:大気圧から超高真空領域(1×10+5～5×10-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R併用時)
• 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU併用時)

用途

• 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置のプロセス制御用に
• インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の到達圧力確認に
• 高真空・超高真空装置の圧力測定に